文献综述的撰写步骤一般可分为文献的搜集，文献的阅读和分类，文献的加工、比较和评述，预测趋势或提出有待进一步研究的问题等。
1.文献的搜集
梁启超曾说：“资料，从量的方面看，要求丰备;从质的方面看，要求确实。所以资料搜罗和别择，实占全工作十分之七八。”可见文献搜集在研究中的重要性。
文献的搜集包括检索和初步筛选两个紧密结合的方面。文献检索就是从众多的文献中查找并获取所需文献的过程，一般可以通过各种检索工具完成，如文献索引、文摘杂志、光盘、网络或期刊数据库检索。常用的检索方法有顺查法、逆查法、引文查找法和综合查找法。
与检索相伴的是对文献进行初步的筛选。研究表明，按质量的优劣可将文献分为三种类别，一种是占30%左右法人必要情报，一种是占5%左右的错误情报，其余的则是冗长情报。冗余情报中又可分为必要的冗余和不必要的冗余。因此，“无论任何研究工作，材料的鉴别，是最必要的 阶段。”在检索的同时，可以通过鉴别文献的真实性、先进性和适用性进行筛选。文献的真实性可从其内容、密集程度、类型、来源渠道、出版单位、作者的身份以及引用率高低等方面来进行综合判断。文献的先进性是指在观点、方法、材料等方面有某种创造或突破，可从文献发表的时间、文献的来源、文献的影响和有关评论加以判断。文献的适用性是指文献对研究适合的程度，主要考虑文献中的观点是否合乎实情，与自己选题的相关程度等，可以通过读摘要、结论或绪言、跋等进行判断。
2.文献的阅读和分类
阅读是全面掌握文献观点、内容、研究设计、研究方法的过程，也是写好综述的基础。“教育研究文献的各种报告在其质量及综合性方面有很大的差别。因此，研究者在阅读报告时，就应带有某种程度的批判性。”对于选定的有代表性的文献要“批评地精读”。很多观点的分歧，特别是在人文社会科学研究中，是因为对概念理解的不同造成的。因此，首先要按照作者的研究思路及对相关概念的界定，全面分析文献的观点，理解作者是在什么层面和意义上使用概念的，避免不必要的争论。阅读时要做好笔记，如做摘要、批注、札记、卡片等，详细、系统地记录各个文献中研究的问题、目标、方法、结果和结论。阅读的同时，要批判地分析演剧中存在的问题、观点的不足，以便发现尚未研究的问题。其次，按照一定的标准进行分类，以便后续研究中使用。可以参考的标准有：①按学科领域分类;②按学术观点、学术流派分类;③按问题研究的历史发展阶段分类;④按研究程序或研究方法的运用分类等。
3.文献的加工、比较和评论
撰写文献综述的关键在于对文献观点的加工整理和评论。首先，对文献的观点按照一定的原则，如上文所提到的分类方法，进行整理、陈述，使之系列化、条理化。提炼观点时，要力求做到准确无误，不片面理解。其次，对不同的观点进行合理的分析、比较和评论。分析、比较和评论时要保持思维的自主性和独立性，做到客观公正，既要肯定优点，又要指出不足，不可吹毛求疵。对于不同或矛盾观点的分析和评论，要注意选择合适的视角，注意其不同的原因，不可根据自己的喜好而滥加褒贬。
4.预测研究趋势，进一步研究的问题
文献综述的结尾应在考虑研究现状的基础上，总结该学科领域当前国内外的主要研究成果及其应用价值、实际意义，指出目前存在的主要问题，展望今后的发展趋势或前景，从而提出新的研究设想、研究内容等。这是撰写文献综述的目的所在，也是文献综述的点睛之笔。 对研究生而言，综述研究的直接目的在于分析掌握研究现状的基础上，确定学位论文的选题。如何确定选题呢?首先，从对现有研究缺陷的分析中寻找问题。现有研究的 可能是方法论的局限性、理论基础的片面性，也可能是研究设计的不足或研究方法运用的不当等，这些缺陷必然会影响研究结论的正确性和普遍性。其次，可以通过对不同甚至是矛盾观点的比较寻找问题。观点的不同可能是研究或方法的不同造成的，“没有一种研究方法能揭示一切”，任何单一的视角或方法所看到的都可能只是食物真相的一面，研究生可以从对矛盾观点的比较分析中得到启示。再次，研究生可以结合自己的思考或实践经验，寻找那些尚未引起研究者注意的问题。最后，可以尝试运用其他学科的理论或方法研究问题。最后，可以尝试运用其他学科的理论或方法研究问题。“求助于若干最有关系的学科和他们所提出与运用的一些观点，有很大的好处。”单一的视角或研究方法“就像戏院里的聚光灯，当用强烈光线照射舞台前方的某些部位时，就把大家的注意力集中在这些部位上，同时把其他特征降到背景和边缘的地位”;而多学科的视角和方法“就像所有灯光都照射在舞台上，人们的目光在整个舞台前后漫游”。将新的学科或方法引入某一领域的研究，用不同角度的“聚光灯”照亮研究对象的“某些部位”，有助于拓展研究的思路与视野，全面认识研究对象。