MEMS微型振动式发电机的研制
全部作者： 唐彬 温志渝 温中泉 何渝 第1作者单位： 重庆大学光电工程学院微系统研究中心摘要： 机械能是环境里最为广泛的能源之1，振动式发电机通过拾振装置将外部的振动机械能转换成电能，可以应用于各中存在微振动的环境中。本文研究了MEMS微型振动式发电机的制作过程。对核心材料驻极体进行了实验研究；对静电式微型振动式发电机进行封装实验，；对封装好的发电机进行了测试；分析总结了在发电机制备过程中出现的问题，进1步改进和完善了微型发电机系统，输出电压达115mV。 关键词： MEMS 发电机 驻极体 封装 测试 (浏览全文) 发表日期： 2008年04月21日 同行评议：
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