悬臂接触式RF MEMS开关的设计
全部作者： 张义恺 第1作者单位： 北京邮电大学自动化学院摘要： 本文研究的金属接触型RF MEMS开关由悬臂梁，驱动电极，金属触点等部分构成。基于微波、材料和机械设计因素的考虑，本次设计选取了氮化硅作为悬臂梁的材料，以保证有材料具有良好的机械特性和化学稳定性。并选择金作为接触金属，是由于金在稳定性和导电性方面的优势。悬臂梁为PECVD制作的氮化硅薄膜,聚酰亚胺作为牺牲层,运用等离子体刻蚀法释放牺牲层。研究了悬梁、电极的制作工艺,并分析了牺牲层的制作和刻蚀工艺对开关结构的影响，并对开关进行失效分析。 关键词： 微机电系统，射频开关，值电压，失效 (浏览全文) 发表日期： 2007年07月23日 同行评议：
作者应当通过实验来验证其设计的正确性,可是其并未做实验,没有在实验中修正其设计,理论分析不准确.
综合评价： 修改稿： 注：同行评议是由特聘的同行专家给出的评审意见，综合评价是综合专家对各要素的评议得出的数值，以1至5颗星显示。
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